Принцип капацитивног сензора притиска

Капацитивни сензор притиска је врста сензора притиска који користи капацитивност као осетљиви елемент за претварање измереног притиска у промену вредности капацитивности.Ова врста сензора притиска генерално користи округли метални филм или позлаћени филм као електроду кондензатора, када филм осети притисак и деформише се, капацитивност формирана између филма и фиксне електроде се мења, а електрични сигнал може бити излаз са одређеним односом између напона кроз мерно коло.
Капацитивни сензор притиска припада капацитивном сензору са варијацијом поларног растојања, који се може поделити на један капацитивни сензор притиска и диференцијални капацитивни сензор притиска.
Једнокапацитивни сензор притиска се састоји од кружног филма и фиксне електроде.Филм се деформише под дејством притиска, чиме се мења капацитет кондензатора, а његова осетљивост је отприлике пропорционална површини и притиску филма и обрнуто пропорционална напетости филма и растојању од филма до фиксне електроде. .Друга врста фиксне електроде је конкавног сферног облика, а дијафрагма је затезна раван фиксирана око периферије.Дијафрагма се може направити методом пластичног позлаћења.Овај тип је погодан за мерење ниског притиска и има висок капацитет преоптерећења.Један капацитивни сензор притиска такође може бити направљен од дијафрагме са клипним покретним стубом за мерење високог притиска.Овај тип смањује површину директне компресије дијафрагме тако да се тања дијафрагма може користити за побољшање осетљивости.Такође је интегрисан са различитим компензационим и заштитним секцијама и круговима за појачавање ради побољшања способности против сметњи.Овај сензор је погодан за динамичко мерење високог притиска и телеметрију авиона.Једнокапацитивни сензори притиска су такође доступни у типу микрофона (тј. тип микрофона) и типу стетоскопа.
Електрода мембране притиска диференцијалног капацитивног сензора притиска налази се између две фиксне електроде и формира два кондензатора.Под дејством притиска, капацитет једног кондензатора се повећава, а други смањује у складу са тим, а резултат мерења излази диференцијалним колом.Његова фиксна електрода је направљена од позлаћеног слоја на конкавно закривљеној стакленој површини.Дијафрагма је заштићена од пуцања конкавном површином током преоптерећења.Диференцијални капацитивни сензори притиска имају већу осетљивост и бољу линеарност од једнокапацитивних сензора притиска, али их је теже обрадити (посебно да би се обезбедила симетрија) и не могу постићи изолацију гаса или течности који се мери, па нису погодни за рад у течностима са корозивним или нечистоћама.